3月10日晚,"2025激光金耀獎(jiǎng)?lì)C獎(jiǎng)典禮在上海隆重舉行,華工激光自主研發(fā)的晶圓測(cè)試探針卡智能裝備從數(shù)百項(xiàng)尖端技術(shù)中脫穎而出,獲得“金耀激光新產(chǎn)品獎(jiǎng)”!
“激光金耀獎(jiǎng)”于2020年創(chuàng)立,旨在推介對(duì)中國(guó)激光行業(yè)產(chǎn)生重大影響的優(yōu)秀成果和優(yōu)秀產(chǎn)品,促進(jìn)跨界創(chuàng)新,助力產(chǎn)業(yè)升級(jí),引領(lǐng)性拓展激光應(yīng)用市場(chǎng),與智能時(shí)代、前沿突破結(jié)合,推動(dòng)制造業(yè)與時(shí)俱進(jìn)。
探針卡是半導(dǎo)體芯片制造前道工藝的重要消耗品,通過測(cè)試探針與晶圓/硅芯片表面接觸產(chǎn)生的電學(xué)連接效果,實(shí)現(xiàn)對(duì)晶圓上晶粒的檢測(cè)。針對(duì)不同芯片需要定制化的探針卡,在半導(dǎo)體測(cè)試市場(chǎng)快速發(fā)展的帶動(dòng)下,對(duì)探針卡的需求也將成倍增長(zhǎng)。
探針卡對(duì)精度和穩(wěn)定性的要求極為嚴(yán)苛,長(zhǎng)期以來其相關(guān)制造設(shè)備被國(guó)外廠商嚴(yán)重封鎖,國(guó)內(nèi)廠家只能依賴進(jìn)口設(shè)備,嚴(yán)重阻礙國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈自主可控進(jìn)程。
面對(duì)進(jìn)口設(shè)備投入成本高、維護(hù)難度大的行業(yè)痛點(diǎn),華工激光自主研發(fā)打造晶圓測(cè)試探針卡智能裝備,攻克“卡脖子”關(guān)鍵技術(shù),形成獨(dú)特優(yōu)勢(shì)。
華工激光圍繞兩大基礎(chǔ)材料——基板+芯片,基于技術(shù)深耕和全套方案工藝解決能力,沉淀出微米級(jí)激光切割平臺(tái)、高精度控制單元、專利低溫焊接技術(shù)、先進(jìn)軟件系統(tǒng)、基于AI的深度學(xué)習(xí)算法、全自動(dòng)測(cè)試技術(shù)、自適應(yīng)自動(dòng)對(duì)焦技術(shù)、AOI檢測(cè)技術(shù)等全制程單元技術(shù)模塊及多套行業(yè)解決方案,在性能、功能、可靠性上都已達(dá)到國(guó)際技術(shù)領(lǐng)先地位。
晶圓測(cè)試探針卡智能裝備
該智能裝備專為晶圓測(cè)試探針卡精密制造打造,涵蓋探針切割、探針植入治具、探針焊接、探針卡測(cè)試的生產(chǎn)制程,攻克了探針卡制造過程中高精度、高效率、高穩(wěn)定性的行業(yè)需求痛點(diǎn),同時(shí)大幅降低使用門檻,為客戶帶來更加高效、優(yōu)質(zhì)、智能的生產(chǎn)體驗(yàn)。
微米級(jí)精準(zhǔn)
高精切割:切割精度10μm
精準(zhǔn)對(duì)位:X&Y坐標(biāo)偏移<4μm,高度偏差<8μm
全制程高效
UPH:0.5s/pin
1h20min完成整盤產(chǎn)品來料檢測(cè)到切割后檢測(cè)全制程
超穩(wěn)定運(yùn)行
超大面積三維工作臺(tái)(300mm*300mm)運(yùn)行平面度<25μm
未來,華工激光將持續(xù)圍繞行業(yè)重點(diǎn),突破“卡脖子”技術(shù)難題,打造一批擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的核心智能裝備,加速實(shí)現(xiàn)關(guān)鍵設(shè)備的國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程,推動(dòng)半導(dǎo)體制造效率提升與成本優(yōu)化,助力客戶打造更具競(jìng)爭(zhēng)力的生產(chǎn)體系,攜手行業(yè)伙伴共筑安全可控的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)生態(tài)。
關(guān)于華工激光
華工激光是中國(guó)激光工業(yè)化應(yīng)用的開創(chuàng)者、引領(lǐng)者,全球激光加工解決方案權(quán)威提供商。我們?nèi)娌季旨す庵悄苎b備、量測(cè)與自動(dòng)化產(chǎn)線、智慧工廠建設(shè),為智能制造提供整體解決方案。
我們深刻把握制造業(yè)發(fā)展趨勢(shì),不斷豐富產(chǎn)品和解決方案,堅(jiān)持探索自動(dòng)化、信息化、智能化與制造業(yè)的融合,為各行業(yè)提供包括全功率系列的激光切割系統(tǒng)、激光焊接系統(tǒng)、激光打標(biāo)系列、激光毛化成套設(shè)備、激光熱處理系統(tǒng)、激光打孔機(jī)、激光器及各類配套器件、激光加工專用設(shè)備及等離子切割設(shè)備,及自動(dòng)化產(chǎn)線、智慧工廠建設(shè)整體方案。