近日，《長(zhǎng)江日?qǐng)?bào)》整版聚焦由華工科技牽頭組建的武漢市半導(dǎo)體激光裝備產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室——這個(gè)將科研戰(zhàn)場(chǎng)搬到企業(yè)一線的 “創(chuàng)新聯(lián)合體”，正以 “單元技術(shù) - 裝備集成 - 應(yīng)用示范” 的鏈?zhǔn)焦リP(guān)，在微納米世界里，書(shū)寫(xiě)著半導(dǎo)體激光高端裝備國(guó)產(chǎn)化的 “大文章”。

以下為報(bào)道正文：

從主打激光打標(biāo)的校辦企業(yè)，到助力“國(guó)之重器”的高端激光裝備領(lǐng)軍者，華工科技26年發(fā)展史幾乎是一部中國(guó)激光產(chǎn)業(yè)的創(chuàng)新簡(jiǎn)史。

“把科技的命脈牢牢掌握在自己手中”，華工科技累計(jì)投入超百億元研發(fā)資金，創(chuàng)下70多項(xiàng)“中國(guó)第一”，推動(dòng)武漢成為全球激光技術(shù)創(chuàng)新策源地，助力中國(guó)激光產(chǎn)業(yè)躋身全球第一陣營(yíng)。

8月7日，一臺(tái)全新的全自動(dòng)晶圓激光開(kāi)槽智能裝備從華工科技智能制造未來(lái)產(chǎn)業(yè)園啟程，發(fā)往華東某半導(dǎo)體客戶現(xiàn)場(chǎng)。這臺(tái)專為8—12英寸半導(dǎo)體晶圓設(shè)計(jì)的激光精細(xì)開(kāi)槽設(shè)備，搭載國(guó)產(chǎn)的華日超快激光器，能以5微米超高精度進(jìn)行表面微槽刻蝕，一片12英寸晶圓處理僅需3分鐘。

這是武漢市半導(dǎo)體激光裝備產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室（以下簡(jiǎn)稱半導(dǎo)體聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室）的最新成果之一?！皬募す馄?、運(yùn)動(dòng)臺(tái)到控制軟件，該裝備實(shí)現(xiàn)了核心零部件全國(guó)產(chǎn)化突破?！卑雽?dǎo)體聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室技術(shù)負(fù)責(zé)人、華工科技半導(dǎo)體產(chǎn)品線總經(jīng)理黃偉近日介紹。

作為武漢市首批10家產(chǎn)業(yè)聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室之一，由華工科技牽頭，聯(lián)合華中科技大學(xué)、九峰山實(shí)驗(yàn)室、長(zhǎng)飛先進(jìn)半導(dǎo)體公司等單位組建的半導(dǎo)體聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室，創(chuàng)新性地將科研戰(zhàn)場(chǎng)搬到企業(yè)一線，通過(guò)“單元技術(shù)—裝備集成—應(yīng)用示范”的鏈?zhǔn)焦リP(guān)，有效支撐了半導(dǎo)體激光高端裝備“從0到1”的研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化落地。

華工科技研發(fā)工程師正在做工藝測(cè)試

矢志創(chuàng)新攻堅(jiān) 

創(chuàng)下70多項(xiàng)“中國(guó)第一”

“向高處立，向遠(yuǎn)處進(jìn)，向?qū)捥幾?，向深處做?！蔽挥跂|湖科學(xué)城的華工科技智能制造未來(lái)產(chǎn)業(yè)園，醒目的十六字標(biāo)語(yǔ)彰顯著企業(yè)雄心。

上月，華工科技迎來(lái)26周年慶。從主打激光打標(biāo)的校辦企業(yè)，到助力“國(guó)之重器”的高端激光裝備領(lǐng)軍者，華工科技26年發(fā)展史幾乎是一部中國(guó)激光產(chǎn)業(yè)的創(chuàng)新簡(jiǎn)史。

近20年前，一顆激光器加固螺絲釘需以3美元高價(jià)進(jìn)口，成為中國(guó)激光產(chǎn)業(yè)受制于人的縮影?！鞍芽萍嫉拿}牢牢掌握在自己手中”，華工科技累計(jì)投入超百億元研發(fā)資金，創(chuàng)下70多項(xiàng)“中國(guó)第一”——從41.5秒焊完整車白車身到100%國(guó)產(chǎn)化半導(dǎo)體激光裝備，推動(dòng)武漢成為全球激光技術(shù)創(chuàng)新策源地，助力中國(guó)激光產(chǎn)業(yè)躋身全球第一陣營(yíng)。

“現(xiàn)在，華工科技不但實(shí)現(xiàn)了高端激光裝備替代進(jìn)口，而且開(kāi)始出口。”今年全國(guó)兩會(huì)期間，站上“代表通道”的華工科技黨委書(shū)記、董事長(zhǎng)馬新強(qiáng)說(shuō)，近十年來(lái)，公司核心產(chǎn)品以每年35%的增長(zhǎng)速度“賣(mài)全球”。

“我們始終錨定‘全球首發(fā)、行業(yè)領(lǐng)先、專精特新’方向，發(fā)力自主創(chuàng)新、產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同創(chuàng)新?！比A工科技總裁助理、中央研究院副院長(zhǎng)夏勇介紹，近五年企業(yè)研發(fā)投入增長(zhǎng)25%，旗下3家企業(yè)入選國(guó)家級(jí)專精特新“小巨人”，多款產(chǎn)品斬獲國(guó)家制造業(yè)單項(xiàng)冠軍。

復(fù)雜曲面紋理激光刻蝕智能裝備、3.2T光模塊/CPO光引擎、復(fù)雜曲面六軸激光微孔加工裝備……不久前舉行的華工科技創(chuàng)新日活動(dòng)上，9大新品集中發(fā)布。這些凝聚公司中央研究院、產(chǎn)品線與高校研究團(tuán)隊(duì)智慧的產(chǎn)品，目前均處在小試或中試階段，即將走向市場(chǎng)。

 直擊產(chǎn)業(yè)痛點(diǎn) 

構(gòu)建“研發(fā)—中試—量產(chǎn)”閉環(huán)

今年2月，武漢發(fā)布2024年度十大科技創(chuàng)新產(chǎn)品，由華工科技自主研發(fā)的國(guó)內(nèi)首臺(tái)核心部件全國(guó)產(chǎn)化的高端晶圓激光切割裝備位列其中。該產(chǎn)品誕生至今已多次迭代升級(jí)，創(chuàng)下多項(xiàng)關(guān)鍵指標(biāo)全國(guó)第一。

然而，其從實(shí)驗(yàn)室創(chuàng)新到產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用的破局之路，并非一片坦途。黃偉介紹，晶圓廠對(duì)生產(chǎn)良率要求極高，對(duì)更換使用國(guó)產(chǎn)設(shè)備帶來(lái)的潛在風(fēng)險(xiǎn)顧慮重重，市場(chǎng)化遭遇“不敢用”的難題。

華工科技工程師在調(diào)試設(shè)備

“國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備要推向市場(chǎng)是一個(gè)漫長(zhǎng)而艱難的過(guò)程，中試驗(yàn)證和批量驗(yàn)證是兩大關(guān)卡?！痹谒磥?lái)，攻克這兩大難關(guān)意味著設(shè)備研發(fā)成功過(guò)半，是打通國(guó)產(chǎn)替代“最后一公里”的關(guān)鍵所在。

從“各自為戰(zhàn)”到“聯(lián)合攻堅(jiān)”，華工科技牽頭組建的半導(dǎo)體聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室直擊痛點(diǎn)：華工科技主導(dǎo)裝備研發(fā)與軟件算法；九峰山實(shí)驗(yàn)室提供晶圓廠級(jí)驗(yàn)證和檢測(cè)環(huán)境，完成第一代設(shè)備半年超千小時(shí)中試；長(zhǎng)飛先進(jìn)半導(dǎo)體則提供最先進(jìn)制程的碳化硅晶圓，開(kāi)展量產(chǎn)級(jí)批量驗(yàn)證并輸出檢測(cè)報(bào)告?！皝?lái)自終端客戶的驗(yàn)證報(bào)告，幫我們叩開(kāi)了市場(chǎng)的大門(mén)?！秉S偉說(shuō)。

地理集聚加速技術(shù)迭代。在黃偉看來(lái)，半導(dǎo)體聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室的獨(dú)特優(yōu)勢(shì)在于創(chuàng)新資源的“空間耦合”：從單元技術(shù)到裝備集成再到應(yīng)用示范，9家成員單位全部位于武漢東湖高新區(qū)。華工科技、九峰山實(shí)驗(yàn)室、長(zhǎng)飛先進(jìn)半導(dǎo)體均在武漢東湖科學(xué)城5公里范圍內(nèi)，形成“基礎(chǔ)研究—中試—量產(chǎn)”無(wú)縫銜接的生態(tài)圈。

現(xiàn)場(chǎng)看到，半導(dǎo)體聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室與華工激光高端裝備制造車間僅“樓上樓下”之隔?！凹夹g(shù)方案‘下個(gè)樓梯’即可直達(dá)生產(chǎn)線優(yōu)化?！秉S偉說(shuō)，這種高效協(xié)同將設(shè)備驗(yàn)證周期大幅縮短，使國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體激光設(shè)備從“實(shí)驗(yàn)室樣機(jī)”到“客戶量產(chǎn)線”的進(jìn)程變得“絲滑順暢”。

錨定細(xì)分賽道 

“開(kāi)道超車，搶占先機(jī)”

九峰山，武漢中心城區(qū)的最高峰。在以這座最高峰命名的九峰山論壇——國(guó)內(nèi)化合物半導(dǎo)體領(lǐng)域規(guī)模最大、規(guī)格最高的行業(yè)盛會(huì)上，華工科技核心子公司華工激光連續(xù)兩年攜“激光+量測(cè)”整體解決方案亮相，彰顯了這家激光巨頭深耕化合物半導(dǎo)體新賽道的實(shí)力與決心。

事實(shí)上，早在半導(dǎo)體聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室正式成立之前，華工科技已在半導(dǎo)體晶圓切割等領(lǐng)域積累豐富經(jīng)驗(yàn)。依托產(chǎn)學(xué)研深度融合優(yōu)勢(shì)，公司成功構(gòu)建覆蓋第一至第四代半導(dǎo)體材料的工藝裝備體系，開(kāi)發(fā)出激光加工與量測(cè)兩大核心產(chǎn)品線，六類關(guān)鍵智能裝備貫通半導(dǎo)體前道制造與后道封裝全鏈條。

“把兩寸寬的事做到兩尺深，”黃偉說(shuō)，華工科技牽頭組建半導(dǎo)體聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室時(shí)，企業(yè)內(nèi)部多次論證，各成員單位也展開(kāi)廣泛討論，最終圍繞半導(dǎo)體行業(yè)關(guān)鍵制程激光裝備落地應(yīng)用，在激光工藝與量測(cè)裝備兩大方向布局8個(gè)關(guān)鍵項(xiàng)目，“這是一條細(xì)分賽道，也是武漢重點(diǎn)打造的未來(lái)產(chǎn)業(yè)之一”。

成立半年多，半導(dǎo)體聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室已交出一份亮眼成績(jī)單：核心零部件100%國(guó)產(chǎn)化的半導(dǎo)體晶圓激光切割裝備，效率與精度已達(dá)行業(yè)頂尖；碳化硅晶圓激光退火裝備的每小時(shí)加工效率，遠(yuǎn)超日本同類設(shè)備?！斑@些裝備都已接近完成首臺(tái)（套）的驗(yàn)證與銷售，標(biāo)志著半導(dǎo)體裝備國(guó)產(chǎn)化的任務(wù)走出重要的一步。”黃偉說(shuō)。

就在上月，華工科技在寬禁帶化合物半導(dǎo)體激光退火領(lǐng)域的創(chuàng)新研究成果，登上國(guó)際權(quán)威期刊?；诖宿D(zhuǎn)化的華工科技全自動(dòng)SiC晶圓激光退火裝備，已實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化突破，關(guān)鍵指標(biāo)行業(yè)領(lǐng)先。

在黃偉看來(lái)，高端半導(dǎo)體裝備被譽(yù)為半導(dǎo)體工業(yè)“皇冠上的明珠”，技術(shù)門(mén)檻高，價(jià)值遠(yuǎn)超產(chǎn)值本身。目前，國(guó)內(nèi)70%的高端半導(dǎo)體激光裝備依然依賴進(jìn)口，華工科技將聚焦化合物半導(dǎo)體賽道全力攻堅(jiān)，助力武漢化合物半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)“開(kāi)道超車，搶占先機(jī)”，“摘下更多‘皇冠上的明珠’”。

 布局海外市場(chǎng) 

從國(guó)產(chǎn)替代到加速出海

7月29日，華工科技?xì)W洲展示中心在匈牙利正式啟用，該中心創(chuàng)新引入“激光智造4S店”模式，首日即斬獲超3600萬(wàn)元訂單，并與歐洲兩大本土激光切割機(jī)制造商達(dá)成戰(zhàn)略合作。

歐洲展示中心的火爆開(kāi)局，是華工科技20余年國(guó)際化深耕的縮影。2000年，剛剛上市的“中國(guó)激光第一股”便大膽跨國(guó)并購(gòu)，成為行業(yè)內(nèi)最早走出去的中國(guó)企業(yè)。2011年至今，華工科技加大全球化進(jìn)程，海外業(yè)務(wù)拓展迅速。

十余年戰(zhàn)略部署，從北美、歐洲到東南亞、澳洲，10余個(gè)制造基地漸次落子，40余國(guó)分支機(jī)構(gòu)與營(yíng)銷網(wǎng)絡(luò)編織成一張全球響應(yīng)之網(wǎng)。今年上半年，華工科技出口總額逆勢(shì)上揚(yáng)16%，部分高端激光裝備訂單量已超越國(guó)際品牌。

僅在過(guò)去數(shù)周，黃偉就接連輾轉(zhuǎn)馬來(lái)西亞、新加坡、泰國(guó)和香港等國(guó)家和地區(qū)。“國(guó)產(chǎn)替代不是終點(diǎn)。”他介紹，從替代進(jìn)口到開(kāi)始出口，半導(dǎo)體聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室的創(chuàng)新成果填補(bǔ)國(guó)內(nèi)空白的同時(shí)，更已成功銷往加拿大、泰國(guó)等地。

面對(duì)半導(dǎo)體領(lǐng)域國(guó)際環(huán)境的深刻變化，這位海歸博士期望以半導(dǎo)體聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室為支點(diǎn)，撬動(dòng)本地化深度布局，因地制宜在海外建立小型研發(fā)中心，招聘國(guó)際化人才，與武漢總部形成互補(bǔ)，針對(duì)全球市場(chǎng)需求進(jìn)行敏捷開(kāi)發(fā)。

“若前方無(wú)路，我們便踏出一條路！”黃偉和平均年齡30歲的團(tuán)隊(duì)成員常用動(dòng)畫(huà)電影《哪吒》里的臺(tái)詞互勉。當(dāng)高端半導(dǎo)體激光裝備在海外工廠高效運(yùn)轉(zhuǎn)，當(dāng)越來(lái)越多的海外人才加入半導(dǎo)體聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室，26歲的華工科技正以“敢想敢干”之姿，向打造全球有影響力的科技企業(yè)堅(jiān)定進(jìn)發(fā)。

關(guān)于華工激光

華工激光是中國(guó)激光工業(yè)化應(yīng)用的開(kāi)創(chuàng)者、引領(lǐng)者，全球激光加工解決方案權(quán)威提供商。我們?nèi)娌季旨す庵悄苎b備、量測(cè)與自動(dòng)化產(chǎn)線、智慧工廠建設(shè)，為智能制造提供整體解決方案。

我們深刻把握制造業(yè)發(fā)展趨勢(shì)，從精密微納激光裝備到超高功率激光裝備，為您提供包括全功率系列的 激光切割 裝備、 激光焊接 裝備、 激光清洗 裝備、 激光標(biāo)記 裝備、 激光熱處理 裝備、 激光3D打印 裝備、 激光打孔 裝備、 檢測(cè) 裝備、激光器及各類配套器件、 激光加工 專用裝備等產(chǎn)品及 解決方案。